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產(chǎn)品詳細(xì)頁
反射鏡,輸出耦合器和鏡頭

反射鏡,輸出耦合器和鏡頭

  • 產(chǎn)品型號:
  • 更新時間:2023-12-21
  • 產(chǎn)品介紹:反射鏡,輸出耦合器和鏡頭
    Ø根據(jù)客戶要求開發(fā)和生產(chǎn)特定組件,例如分束器和可變衰減器
    Ø單波長增透膜,剩余反射率在AOI = 0°時R <0.25%,在AOI = 45°時R <0.6%(非偏振光)
    Ø寬帶和多波長增透膜
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
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產(chǎn)品介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間面議
組件類別光學(xué)元件應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

反射鏡,輸出耦合器和鏡頭


圖1:隨機(jī)偏光(a)的反射鏡(AOI = 45°)在193 nm下的測量的反射率和透射光譜(a)和在兩面都涂有193 nm氟化物AR涂層的CaF2窗口(b)

Ø所有氟化物系統(tǒng)均確保高反射率和高損傷閾值

ØPR涂層的公差為:

ر 2% for R = 10 ... 30 %

ر 3% for R = 30 ... 75 %

ر 2% for R = 75 ... 90 % and

ر 1% for R > 90 %

ØCaF2(肖特公司193nm受激準(zhǔn)分子級)和熔融石英的高質(zhì)量鏡面基板,窗口片和透鏡

Ø根據(jù)客戶要求開發(fā)和生產(chǎn)特定組件,例如分束器和可變衰減器

Ø單波長增透膜,剩余反射率在AOI = 0°時R <0.25%,在AOI = 45°時R <0.6%(非偏振光)

Ø寬帶和多波長增透膜

可變衰減器


圖2:在不同的AOI(a)和透射率與AOI(b)下測得的可變衰減器的透射率光譜; 透射率從AOI = 0°時的T> 88%到AOI = 45°時的T <2%

Ø可根據(jù)要求提供不同傳輸范圍的衰減器

Ø衰減器可以與CaF2熔融石英的AR涂層補(bǔ)償板一起提供

鋁反射鏡


圖3:優(yōu)化了針對193nm的受保護(hù)Al鏡(a)和針對193nm的增強(qiáng)Al鏡(AOI = 45°(b))的測量反射光譜

增強(qiáng)鋁鏡:Rp
> 93%
Rs
> 99%
Rr
> 96%

有關(guān)鋁鏡的更多信息,請參見目錄中的96-97頁。

 

標(biāo)準(zhǔn)ArF激光元件的技術(shù)參數(shù)

Coating

Substrate

Damage threshold*

Lifetime test

    

Fluoride coatings

   

AR (0°, 193nm) R < 0.25%

CaF2

4 – 5 J/cm2

2.5 x 108
pulses, no damage**

AR (0°, 193nm) R < 0.25%

fused silica

2 – 3 J/cm2

 

PR (0°, 193nm) R = 25%

CaF2

3 – 4 J/cm2

2.5 x 108
pulses, no damage**

PR (0°, 193nm) R = 50%

CaF2

2 – 3 J/cm2

109
pulses***

HR (0°, 193nm) R > 96%

CaF2

2 – 3 J/cm2

109
pulses***, no damage
1010
pulses****, no damage
4 x 109
pulses*****, no damage

HR (45°, 193nm) R > 95% (random polarized)

CaF2

2 – 3 J/cm2

 

Oxide coatings

   

HR (0°, 193nm) R>92%

fused silica

<1 J/cm2

 

1)1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大學(xué)進(jìn)行了測量

2)能量密度:18mJ / cm 2,重復(fù)頻率:4kHz,脈沖持續(xù)時間:30ns; 在哥德根的COHERENT AG進(jìn)行測試

3)能量密度:55mJ / cm 2,重復(fù)率:1kHZ,脈沖持續(xù)時間15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試

4)能量密度:27mJ / cm 2,重復(fù)頻率:4kHz,脈沖持續(xù)時間:30ns; 在哥德根的COHERENT AG進(jìn)行測試

5)能量密度:80mJ / cm 2,重復(fù)頻率:1kHz,脈沖持續(xù)時間:12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試

反射鏡,輸出耦合器和鏡頭


圖1:157nm的激光鏡(AOI = 0°,a)和轉(zhuǎn)向鏡(AOI = 45°,b)的測量反射率和透射光譜

Ø激光鏡:AO = 0°時R = 92 ... 95%

Ø轉(zhuǎn)向鏡(AOI = 45°):

ØRs
> 97%

ØRp
> 90%

ØRr
> 92%

ØCaF2的高品質(zhì)鏡面基板,窗口片和鏡片(肖特公司157nm受激準(zhǔn)分子級品質(zhì))

Ø具有公差的PR涂層

ر 2 % for R = 10 ... 30 %

ر 3 % for R = 30 ... 75 % and

ر 2 % for R = 75 ... 90 %

Ø根據(jù)客戶要求開發(fā)和生產(chǎn)特定組件,例如分束器和可變衰減器


圖2:標(biāo)準(zhǔn)輸出耦合器在R = 50±3%和R = 25±2%時測得的反射光譜(背面未鍍膜)

可變衰減器


圖3:可變衰減器在不同AOI(a)和透射率與AOI(b)下測得的透射光譜透射率從AOI = 0°時的T> 75%到AOI = 45°時的T <5%

F2激光鋁鏡


圖4:受保護(hù)的Al鏡(a)和增強(qiáng)型Al鏡在157nm下的反射光譜(b)

受保護(hù)的鋁鏡(針對157nm進(jìn)行了優(yōu)化):R = 74 ... 78%

電介質(zhì)增強(qiáng)型鋁鏡:AOI = 0°時R = 94%

有關(guān)鋁鏡的更多信息,請參閱我們的目錄中的第96 - 97頁。

標(biāo)準(zhǔn)F2激光組件的技術(shù)數(shù)據(jù)

Coating

Spectral performance

Lifetime test

HR (0°, 157nm)

R = 92 ... 95 %

2 x 108
– 1 x 109
pulses*

HR (45°, 157nm)

R = 90 ... 94 % (random pol.)

 

PR (0°, 157nm)

R = 50 ± 3 %

2 x 108
– 1 x 109
pulses*

PR (0°, 157nm)

R = 25 ± 3 %

2 x 108
– 1 x 109
pulses*

Attenuator

T = 67 ± 3 %

5 x 107
pulses**, no damage

Attenuator

T = 33 ± 3 %

1 x 108
pulses***, no damage

Beam splitter

T = 20 ± 3 %

1 x 108
pulses***, no damage

AR (0°, 157nm)

0.3 ... 0.7 %

 

*能量密度:25mJ / cm2,重復(fù)頻率:800Hz,脈沖持續(xù)時間:15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試

**能量密度:15mJ / cm 2,速率:200Hz,脈沖持續(xù)時間:20ns; 在光電技術(shù)研究所(IPHT)耶拿研究所進(jìn)行測試

***能量密度:20 mJ / cm2,速率:50Hz,脈沖持續(xù)時間:20ns; 在光電技術(shù)研究所(IPHT)耶拿研究所進(jìn)行測試

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